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半导体专用无氧化精密烘箱
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半导体专用无氧化精密烘箱

文章来源: 发布时间:2017-04-27 11:28:27 浏览次数:1505

一、 设备名称: 半导体无氧烘箱(水冷)

二、 设备的用途
* 1.适用于BGA基板、各类框架、导电胶、绝缘胶、DAF膜等系列产品的烘烤。

三、加工产品质量要求
* 1.产品烘烤后无氧化、无裂纹、无空洞等异常。
* 2.产品烘烤后推晶力符合我司工艺控制要求。

四、主要技术指标要求
* 1.温度范围:+60℃~+250℃可任意设置。
* 2.定时范围:0~99 H 59min,误差小于1min。
* 3.温度显示误差:±0.5。
* 4.温度均匀性: 175℃在 ±3℃以內(空炉测试),机台沖溫溫度不超過設定溫度+3℃(空炉测试)。
* 5.升温速度:室温升至175℃≤30min(空炉)。
* 6.降温采用水冷式降温系统,采用≥10MΩ纯水,水温20℃左右,水流量
25L/MIN,水压力4KG,自175℃降温至80℃时间≤30min(空炉)。
* 7.氮气不充时会发出警报。
* 8.安装条件

序号

能源

每台控制要求

1

电源

AC 380V   3φ  50HZ  9KVA(每箱)电源线长5m

电源开关:空气开关(禁止使用闸刀开关或电源插座)。

2

压缩空气

1/2”冷空气入口,气源压力大于5 kgf/cm²,配置Ⅱ级空气过滤器,过滤精度为5μm。

3

氮气

1/2”冷空气入口,气源压力大于5 kgf/cm²,纯度99。99%,配置Ⅱ级空气过滤器,过滤精度为5μm。

4

流量大于2L/min

5

排风

强排:1个,流量:500L/min,管径:100mm。

6

接地

外壳保护接地电阻≤1Ω

9.外型尺寸(长×宽×高)及重量(不超过标准尺寸的20%)

9.1内尺寸:W640 mm ×D  640mm×H  500mm×兩箱式

9.2外尺寸:W 1300mm ×D 980mm×H1950mm

9。3净重   约500KG

五、设备的结构要求

序号

站别

技术要求

*2。1

机身腔体

1。单开门式,箱门开启方向:由右向左开。

2。一体二箱式,每箱各有一个电磁门扣,可独立开关(附封合扣、磁

门挂钩)。箱门需配备搭扣,保证打开时角度控制在30°。

3。机台內部和门內材质使用SUS304不锈钢板,必经镜面处理一级板(门外壳喷漆处理),全密闭空间。

4.机身外部材质使用SS41,钢板除锈烤漆,颜色米白色。

5。箱门密封材料:硅橡胶密封条,闭门后不可漏气;门把手为SUS或铝合金材质。

6.任何折角处采用焊接密封,机体无接缝,保证设备密封性。

7。箱內每炉均分三层,隔板为不锈钢网版,每层隔板最大承重20KG。

8.确保烘箱内部温度在200℃时,其外表面温度不超过45℃。

9。箱底四个轮子为电木轮φ3",可360°旋转,并有四个可升降定位支撑脚。

*2.2

烘烤

充氮

1。每箱独立单侧鼓风,三相电机,采用2个SUS304鼠笼式风扇(7英寸)

2.附5点温度选择器,可查看炉内5点温度均匀度。

3.电控部分采用轨道式组裝,易于安裝及更換,控制系统需有过载保护和保险装置。

4.要求具有温到计时,不升温报警功能。

5.氮气、压缩空气管道要安装有过滤器。

6.含氧量在200PPM以下,氮气不充时会发出警报。                7.加热及箱内气流循环方式:单侧电加热,单侧鼓风,强制风道层流

式循环。

8. SUS管式电热器加热器,可整体抽出式安装。

*2.3

降温

充水排风

1。降温采用水冷式降温系统。

2.机台后侧装有水流量开关。

3。排风管道方便连接、拆卸。

六、设备配制清单

项目

标准

* 1.监控系统


1。1

附5点温度选择器,可观看炉內5点温度均匀度。

1.2

含氧量在200PPM以下,氮气不充时会发出警报。

1。3

冷却水流量低于15L/min时,『流量不足』警报。

1。4

流量计0-100L/min浮球式流量计

* 2.控制系统

2.1

电控部分采用轨道式组裝,易于安裝及更換,控制系统需有过载保护和保险装置。

2.2

电热管:PIPE HEATER

2.3

控制面板上必须安装运行、完成、故障、警报信号指示灯。

2.4

温度控制器采用yokogawa可程式自动PID控制温度加30组程序之模组。

2.5

SENSOR采用K TAPE+0.3%级准确性比一般用台制+1.0级

高出数倍,特別用于高温性OVEN更能显出准确性。

2。6

温度控制器与超温控制器之热电偶分开各別使用。

2。7

氮气口φ10,并附流量计控制进气量。

2.8

每炉裝置变频机构,可调整出风量大小减低震动,以配合各制程条件需求。

2.9

机台后側水流量开关采用(1-15L/MIN G1)

* 3.安全装置

3.1

具有故障提示功能,便于维护与维修。

3.2

运转中门面不得开启,待结束后始可开启,氮气在门开启后开始停止供应。

3。3

断电门自锁系统(可在需要开门时打开)

3.4

温度控制器和超温控制器的热电偶分开使用。

3。5

所有控制按键会因碰撞而改变功能者须加裝保护框保护,每個操作钮加防触盖。需配置于机台正面。

3.6

机台后側水管采用直管,方便拆卸。

3.7

配备紧急停止开关。

3.8

排气为手动阀排气

3.9

烘烤完成可將門打開23cm距離

3.10

三色指示灯:发光体采用高亮二极管,绿色运转指示,黄色待机指示,红色超温指示。

3.11

机台必须装有足够保护对检查区域,电击危害或者危险的可阻止操作者误触。

* 4.保护装置

4.1

机台装有漏电断路装置。

4。2

装有超温防止保护裝置,数字仪表显示

4.3

装有电热过电流保护裝置

4.4

马达过电流保护

4。5

控制电路需装有保险丝装置。

4。6

YOKOGAWA控制器自带低温报警装置

4。7

关门5分钟内不启动报警装置

4.8

装有报警蜂鸣器以及报警指示灯装置,声音报警可手动关闭。



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